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一种移位装置及工件处理方法.pdfVIP

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  • 2024-02-24 发布于四川
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一种移位装置及工件处理方法.pdf

    本发明提供一种移位装置及工件处理方法，包括：主支撑框架、第一运动部、第二运动部、运动单元及转运支架，其中主支撑框架包括运动平面；第一运动部设置于运动平面上，第一运动部至少包括第一固定单元、负载第一固定单元进行平面运动的第一平面运动台；第二运动部与第一运动部间隔预设距离，第二运动部至少包括第二固定单元、负载第二固定单元进行平面运动的第二平面运动台，第一运动部与第二运动部在同一运动平面上运动；运动单元位于第一运动部上方和/或位于第二运动部上方；转运支架设置于第一运动部与第二运动部之间的运动平面的正上

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117594505A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311545475.4

    (22)申请日2023.11.17

    (71)申请人上海隐冠半导体技术有限公司

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