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本实用新型公开了一种用于化学气相沉积机的防夹伤装置，其包括左保护卡块和右保护卡块，所述左保护卡块和右保护卡块中部对称设置有第一半圆状缺口，端部对称设置有第二半圆状缺口，螺杆穿设于第一半圆状缺口内，所述左保护卡块和右保护卡块的下表面对称设置有第一凹槽和第二凹槽。本实用新型可使作业由双人操作优化为单人操作，且完全避免了活线作业，在原有螺杆结构的基础上，该防夹伤装置通过夹设使螺杆能够处于悬空状态，从而给操作人员预留更多的操作时间，也能够避免短时操作带来的夹伤的可能性，提升了生产的安全系数。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220520626U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322134036.6
(22)申请日2023.08.09
(73)专利权人和舰芯片制造（苏州）股份有限公
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