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一种磁性隧道结结构及其形成方法,其中方法包括:提供基底;在基底上形成第二隧道结单元,包括第二钉扎层和位于第二钉扎层上的第二参考层,第二钉扎层和第二参考层之间反铁磁耦合;在第二隧道结单元表面形成第一导电层;在第一导电层表面形成第一隧道结单元,包括自由层、位于自由层表面的势垒层、位于势垒层表面的第一参考层以及位于第一参考层上的第一钉扎层,第一参考层与第二参考层的磁矩方向反平行,第一钉扎层和第一参考层之间铁磁耦合。通过引入第二参考层,增加了透射自旋极化电流的反射界面,使得透射自旋极化电流与反射自旋极化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117597012A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311828467.0
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人北京超弦存储器研
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