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公开了执行电流和电压测试测量的方法和半导体测试设备。半导体测试系统具有带有多个测试位置的测试夹具。每个测试位置具有DUT放置区域和专用于DUT的用以执行电压和电流测试的电气测试电路。电气测试电路具有电压测量块和电流测量块。电压测量块具有用于将模拟电压测量转换成数字电压测量的模数转换器。电流测量块具有传导要被测量电流的电阻器、具有跨电阻器耦合的第一输入和第二输入的放大器、以及具有耦合到放大器的输出的输入和用于提供数字电流测量的输出的模数转换器。测试控制系统控制测试夹具。电气测试电路可以是集成电路或
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117590184A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310790405.9
(22)申请日2023.06.29
(30)优先权数据
17/8185202022.
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