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本公开提供了能够利用交流(AC)加热器和直流(DC)加热器来独立地控制静电卡盘(ESC)的多区的静电卡盘温度控制单元及包括其的基板处理装置。该基板处理装置包括：壳体、基板支承单元、喷头单元、等离子体生成单元和ESC温度控制单元，其中，控制静电卡盘的温度的ESC温度控制单元包括：多个第一加热器；多个第二加热器，提供与第一加热器的电力不同的电力；以及控制模块，控制第一加热器和第二加热器，以及控制模块独立地控制第一加热器和第二加热器。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117594477A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310870318.4G03F7/20(2006.01)
(22)申请日2023.07.1
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