利用聚焦粒子束对样品进行成像和处理的装置.pdfVIP

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2024-02-24 发布于四川
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利用聚焦粒子束对样品进行成像和处理的装置.pdf

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本申请涉及一种使用聚焦粒子束对样品进行成像和处理的装置，包括：(a)至少一个粒子源；(b)至少一个样品腔；(c)至少一个柱；(d)至少一个检测单元；(e)至少一个气体管线系统，其终止于来自柱的聚焦粒子束的出口处并且配置为在样品处局部地提供具有压力的至少一种处理气体，以使得聚焦粒子束能够引发粒子束所引发的局部化学反应来处理样品；(f)至少一个压力调整单元，粒子束和从样品发射出的粒子穿过该压力调整单元并且其配置成因为处理样品而将在至少一个检测单元处引起的压力增加限制为10倍或更小，优选为5倍或更小，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117594404A

(43)申请公布日2024.02.23

(21)申请号202311035631.2H01J37/244(2006.01)

(22)申请日2023.08

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