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原文由于2004年发表于ADVANCEDENGINEERINGMATERIALS

多线切割的基础理论及模型

作者：默勒

摘要

目前超过80%的太阳能电池产品需要通过对大块的晶体硅进行切割来生产。虽然近年来太阳能电池的生产以

及组件的制造的成本都有了可观的下降，线切割的成本仍然很高，占到硅片生产成本的30%。目前晶体硅通过多

线切片技术进行加工，这种技术的优势在于可以达到每天每机台生产数百片的硅片的高产量，伴随微小的200

微米的线缝损失并且对硅锭的大小没有限制。我们需要一个基础的理论来描述线切割过程的微观细节，这个理论

将帮助晶体切割成为可控的过程。在接下来的章节中，我们将尽可能的阐述目前为止所了解到的描述线切割过程

的理论。

1.引言

目前超过80%的太阳能电池产品需要通过对大块的晶体硅进行切割来生产。多晶硅锭是通过梯度冷冻技术进

行生产，目前的硅锭截面积可以达到50*50cm2并且重量超过250kg。直拉法单晶硅的直径可以超过20cm。虽然

近年来太阳能电池的生产以及组件的制造的成本都有了可观的下降，线切割的成本仍然很高，占到硅片生产成本

的30%。优化线切割的机理从而降低生产成本的呼声很高。目前晶体硅通过多线切片技术进行加工，这种技术的

优势在于达到可以每天每机台生产数百片的硅片的高产量，伴随微小的200μm的线缝损失并且对硅锭的大小没有

限制。目前生产的硅片大多是250~350μm之间，目前的技术已经可以切割出厚度达100μm的硅片。在硅片产量、

质量损失、辅材消耗和硅片质量等方面存在较多的因素来制约优化生产过程。我们需要一个基础的理论来描述对

线切割过程的微观细节的理解，这个理论将帮助晶体切割成为可控的过程。在接下来的章节中，我们将尽可能的

描述目前为止所了解到的描述线切割过程的理论。

2.多线切片技术

在硅锭生长完毕后，第一部是根据最终硅片的尺寸，将硅锭用钢锯切割成一定横截面积的小锭。标准的横截

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面积是10*10cm，但是太阳能电池工艺中开始大量的使用15*15cm的更大的硅片。这些小锭被胶水固定在基

座上以后，最终被固定在多线线网中切成硅片。图1显示了多线切割的原理。单一钢线从放线筒送出，经过滑轮

和张力控制系统，被缠绕在四个开有一定角度的凹槽的导轮上面。缠绕在四个导轮上500-700个平行凹槽之间的

钢线形成了线网。有一个集线筒来收集用过的钢线。钢线通过由主动电机和从动电机的扭矩来运动。钢线张力通

过力反馈单元来控制在一个设定范围内。硅锭在向线网进给的同时，被切成数百片的硅片。钢线可以单向切割也

可以往返切割。太阳能电池硅片主要采用单向切割而微电子行业的硅片采用往返切割。单向切割允许线速度达到

5-20m/s，但是会降低表面平整度。更加光滑平坦的表面需要通过双向切割来完成。根据进给速度，钢线长度为

150-500km，从而在一次切割中能完成一块硅锭的切割。钢线材料通常是不锈钢。

图1图解描述了多线切割的原理。晶体以和切割速率相同的固定的进给速度向线网进给。线弓取决于钢线的张力。钢线速度保持

恒定。

砂浆通过喷嘴喷淋到钢线线网上面然后被钢线带入切割缝从而完成切割过程。砂浆由悬浮的高耐磨颗粒组

成。今天，碳化硅和金刚石是最常用的研磨剂。两种材料都十分昂贵并且占到了整个硅锭切割成本的25-35%。

固体碳化硅颗粒的体积分数可以在30-60%的范围内变化，颗粒直径范围是5-30μm。抛光时使用更小的直径小于

1μm的颗粒。砂浆的主要目的是将研磨剂颗粒带入切割缝和晶体表面。砂浆同时使颗粒保持离散并且避免其结块。

翻译：高佳技术部袁琦

原文由于2004年发表于ADVANCEDENGINEERINGMATERIALS

砂浆进入线缝是钢线和高粘度的砂浆交互作用的结果。一般情况下，只有少部分的砂浆进入了切割区域。这一过

程的重要影响因素是粘度以及钢线速度，但是我们需要一个复杂的物理模型来理解由此产生的流体机械问题。最

近报道了一个试图描述这个过程的论文。