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2023年化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案

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    化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z23999前言 3

    1105一、化合物半导体的外延生长设备项目选址可行性分析 3

    24237(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 3

    14990(二)、用地控制指标 3

    9851(三)、节约用地措施 5

    25268(四)、总图布置方案 7

    29177(五)、选址综合评价 8

    27788二、化合物半导体的外延生长设备项目绩效评估 9

    26397(一)、绩效评估指标 9

    20028(二)、绩效评估方法 1

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