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两点脉冲激光硅片热应力切割数值研究文稿.pdfVIP

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  • 2024-03-03 发布于北京
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两点脉冲激光硅片热应力切割数值研究文稿.pdf

    OpticaApplicata,Vol.XLI,No.1,2011

    Numericalstudyonthermalstresscutting

    ofsiliconwaferusino-pointpulsedlaser

    JIANLIU1,JIANLU1*,XIAOWUNI1,GANGDAI1,LIANGZHANG1,YANBEICHEN2

    1DepartmentofAppliedPhysics,NanjingUniversityofScien

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