1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.87万字
  • 约 17页
  • 2024-02-28 发布于四川
  • 举报

缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质.pdf

    本申请提供了一种缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质。通过获取待检测对象的待检测图像，将所述待检测图像输入至预先训练的缺陷检测模型中，得到所述缺陷检测模型输出的缺陷检测类别以及各所述缺陷检测类别对应的类别置信度；根据各所述缺陷检测类别和各所述缺陷检测类别对应的类别置信度，确定候选缺陷类别；获取晶圆特征图，基于所述晶圆特征图确定晶圆缺陷类别；根据所述候选缺陷类别和所述晶圆缺陷类别确定所述待检测图像的目标缺陷类别。可以至少用以解决半导体缺陷定位不准确的技术问题。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117611879A

    (43)申请公布日2024.02.27

    (21)申请号202311467228.7

    (22)申请日2023.11.06

    (71)申请人上海朋熙半导体有限公司

    地址2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >