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本发明属于压电泵领域,具体涉及到一种高频驱动的微小型液体压电泵。包括:泵体、第一压电振子、进口阀、出口阀;所述第一压电振子的圆周外缘与泵体固定连接;所述泵体内部设置有液体腔;所述液体腔配套设置有进口阀和出口阀;所述进口阀和出口阀分别与泵体连接;进口阀和出口阀均由轮式阀和压电振子构成。特色与优势:精密控制泵送液体的流量,响应速度快,能量密度高,功耗低。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117605659A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311789271.5
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人浙江师范大学
地址321004
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