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薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单
序号工序设备分类设备名称英文名称（供参考）
等离子增强化学气相淀积设备/
化学气相沉积机/等离子加强气PECVD/CVD/P1asmaEnhanced
1相沉积设备/化学气相成膜装置Chemica1VaporDeposition
2常压化学气相淀积设备APCVD
溅射机（装置）/真空金属溅镀机Sputter/Meta1Sputter/ITO
3成膜设备/金属/金属氧化物/锢锡氧化物Sputter/Meta1/IGZO/ITOSputter
成膜装置Equipment
4离子注入机/离子植入机IonImpIantZImpIanter
特殊尾气处理装置/废气处理机GasTreatment
/CVD制程残气处理机/燃烧式EquipmentzscrubberZCombustiontypewast
5
尾气处理设备/无膜机CVD制程egasabatementequipme∩t∕Gasscrubbersyst
残气处理机em
Track/CoaterDeve1oper
6涂胶显影机（装置）
Equipment/Coater
7涂胶机PreCoater/Coater
8显影机Deve1oper
阵列Deve1operRecyc1eSystem/TMAH
显像液供给再生设备/显影液再
deve1operdi1utionequipment/TMAH
9生系统设备/显影液循环系统/显
deve1operdi1utionrecyc1emanagement
影液稀释再生管理装置
equipment
光刻系统
浓度管理设备（装置）/显影液浓Deve1operContro1System/Deve1operMan
10
度管理装置/现地供应系统
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