1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种碲锌镉外延片去除外延层的方法.pdfVIP

  • 10
  • 0
  • 约1.13万字
  • 约 12页
  • 2024-02-28 发布于四川
  • 举报

一种碲锌镉外延片去除外延层的方法.pdf

    本发明提供了一种碲锌镉外延片去除外延层的方法。包括如下步骤：对所述碲锌镉外延片进行厚度分选；对分选后厚度一致的碲锌镉外延片进行化学机械抛光，至去除异质外延层后停止抛光；对化学机械抛光后的碲锌镉外延片进行化学抛光，至去除碲锌镉衬底表面损伤层及其表面的残留应力后停止抛光，得到碲锌镉衬底；化学腐蚀液由溴溶液、甲醇溶液、乙二醇溶液混合组成。本发明将化学机械抛光和化学抛光相结合，共同去除碲锌镉衬底上生长的外延层，在保证去除效果的同时避免了对碲锌镉衬底的挤压损伤，在化学机械抛光后外延片表面的损伤层的厚度浅，

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117601011A

    (43)申请公布日2024.02.27

    (21)申请号202311626558.6

    (22)申请日2023.11.30

    (71)申请人安徽光智科技有限公司

    地址23

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >