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- 2024-02-28 发布于四川
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公开了一种原材料供应方法包括:在罐体中将原材料汽化,排出汽化的原材料,测量罐体的内部温度,利用此内部温度计算出计算温度以及通过已计算的温度将设置在罐体上的加热单元加热来补偿内部温度的变化以及应用至所述方法用于供应原材料的原材料供应设备。此原材料供应方法与设备可以稳定地供应汽化的原材料至处理空间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117616148A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202280045482.5曹胜铉许桢
(22)申请日2022.06.28
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