一种使用两个强度电场的微纳米生物和代谢物传感器和执行器的横向和垂直电泳方法.pdfVIP

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2024-02-28 发布于四川
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一种使用两个强度电场的微纳米生物和代谢物传感器和执行器的横向和垂直电泳方法.pdf

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本发明涉及微、纳米生物及其代谢物技术领域，尤其涉及一种使用两个强度电场的微纳米生物和代谢物传感器和执行器的横向和垂直DEP方法，具体包括以下步骤：S1、在金属蚀刻工艺之前进行抗蚀剂等离子体蚀刻以在侧壁处形成抗蚀剂轮廓，其中高压基线配方包括比例为1:4:140的氧气、氮气和氩气在1600mT压力和1300瓦射频功率下用于产生预先设计的角度抗蚀剂；S2、进行金属蚀刻，其中基线指令包括氯气、三氯化硼和氩气，其比例为但不限于1:0.4:0.2，压力为8mT，源功率优选为1200瓦偏置功率优选为175瓦

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117607232A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202311565061.8

(22)申请日2023.11.22

(71)申请人浙江师范大学

地址321000

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