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一种多尺寸晶印刷真空平台.pdfVIP

一种多尺寸晶印刷真空平台.pdf

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    本实用新型涉及真空平台技术领域，公开了一种多尺寸晶印刷真空平台，包括工作台，所述工作台的顶部四个拐角处均设置有放置环，所述工作台的中部设置有固定块，所述工作台的中部四周均螺纹连接有螺栓，所述工作台的右侧设置有第四压力控制阀，所述第四压力控制阀连通有真空口，所述工作台的底部左侧设置有第一压力控制阀，所述工作台的底部右侧前端设置有第五压力控制阀。本实用新型中，将晶圆放置在工作台上，第四压力控制阀带动真空口将晶圆与工作台之间的间隙吸至真空，工作台上的环状腔体的大小分布不一，可顺着腔体的轨迹进行大小不同

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220535201U

    (45)授权公告日2024.02.27

    (21)申请号202321002090.9

    (22)申请日2023.04.28

    (73)专利权人曼尼霍普斯智能装备（苏州）有限

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