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晶圆缓存系统的使用方法和晶圆缓存系统.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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晶圆缓存系统的使用方法和晶圆缓存系统.pdf

    本发明提供了一种晶圆缓存系统的使用方法和晶圆缓存系统，晶圆缓存系统的使用方法包括以下步骤：提供晶圆缓存装置和控制模块，使层间工艺模块内的晶圆依次途经晶圆曝光前工艺处理模块、晶圆缓存装置和冷却组件后传至曝光模块进行光刻处理，且使晶圆缓存装置中的晶圆缓存工位的数量大于等于晶圆曝光前工艺处理模块中晶圆处理工位的数量；控制模块控制层间工艺模块向晶圆曝光前工艺处理模块内传送晶圆的传片速度，以使晶圆曝光前工艺处理模块和晶圆缓存装置中总的晶圆数量等于晶圆缓存装置中晶圆缓存工位的数量。本发明能使晶圆曝光前工艺处

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117631476A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311753046.6

    (22)申请日2023.12.19

    (71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司

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