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防反射薄膜的制造方法.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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防反射薄膜的制造方法.pdf

    提供一种防反射薄膜的制造方法，其能够得到在抑制制造时的薄膜基材的变形的同时、高温耐久性优异的防反射薄膜。防反射薄膜的制造方法具备工序Sa和工序Sb。在工序Sa中，使用稀有气体和氧气对薄膜基材(13)的一个主面(12a)进行轰击处理。在工序Sb中，在经过轰击处理的主面(12a)侧上成膜防反射层(19)。在工序Sb中成膜的防反射层(19)由多层膜形成，该多层膜包含氧化铌薄膜、以及与氧化铌薄膜折射率不同的无机薄膜。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117626193A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311108590.5C23C14/54(2006.01)

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