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本发明公开了一种近红外通讯波段垂直发射纳米线激光器及其制备方法,属于激光技术领域。激光器包括磷化铟基底,所述磷化铟基底上沉积有二氧化硅薄膜,所述二氧化硅薄膜上开设有开孔,所述开孔内垂直生长有磷化铟纳米线基柱,所述磷化铟纳米线基柱的外层包裹有多重铟镓砷量子阱,所述多重铟镓砷量子阱的外围包裹有磷化铟层。制备方法,包括以下步骤:在磷化铟基底上沉积二氧化硅薄膜,将开孔的阵列图案转移至二氧化硅薄膜上;完成磷化铟纳米线基柱在二氧化硅薄膜上的生长;完成多重铟镓砷量子阱以及磷化铟势垒层的生长;完成最外层的磷化铟
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117638649A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311605164.2
(22)申请日2023.11.28
(71)申请人西北工业大学
地址710072
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