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2024-03-02 发布于四川
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阵列基板的制作方法、阵列基板和显示面板.pdf

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本公开提供了一种阵列基板的制作方法、阵列基板和显示面板，属于显示技术领域，所述方法包括：提供衬底基板，衬底基板包括显示区和与显示区相邻的阵列基板行驱动GOA区；在位于显示区的衬底基板上形成多个第一薄膜晶体管，第一薄膜晶体管包括第一有源层；在位于GOA区的衬底基板上依次形成多层TFT层，TFT层包括多个第二薄膜晶体管，第二薄膜晶体管包括第二有源层；其中，在形成靠近衬底基板一侧的第一TFT层中的第二有源层时，采用准分子激光退火处理形成；在形成背离衬底基板一侧的第二TFT层中部分或全部第二薄膜晶体管的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117637766A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311605563.9

(22)申请日2023.11.28

(71)申请人京东方科技集团股份有限公司

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