原创力文档- 11
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- 2024-03-02 发布于四川
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本发明公开了一种静电卡盘保护胶层的测量工具、方法及寿命预测方法。其中，所述测量工具包括：深度仪，其在测量时放置于所述反应腔内，包括深度仪主体，以及设置在深度仪主体的测量端面的可伸缩的探针；限位装置，与所述深度仪主体连接，用于限位所述深度仪使所述探针垂直抵接环状外壁以进行校零操作，或者使所述探针垂直抵接保护胶层外壁以进行测量操作。本发明解决现有技术的只能通过拆除静电卡盘后测量保护胶层厚度或目视观察凭经验判断的技术问题，可以准确测量保护胶层厚度，以及预测保护胶层的寿命，具有较好的便捷性、实用性和经济
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117629022A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202210986431.4
(22)申请日2022.08.17
(71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公
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