一种集成电路化学机械研磨机台的健康状况预测评估方法.pdfVIP

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2024-03-02 发布于四川
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一种集成电路化学机械研磨机台的健康状况预测评估方法.pdf

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本发明公开了一种集成电路化学机械研磨机台的健康状况预测评估方法，用机台健康运转状况下的传感器数据构建出虚拟量测模型，在实际生产过程中，将实际传感器数据输入模型中得到预测研磨率，与实际测量的研磨率进行比较，从而对机台的健康状态做出评估，为机台的维护做出指导，解决现有依据经验的周期性维护所带来的稳定性不足、耗材浪费的问题。本发明使用虚拟量测的方法构建CMP工艺模型，避免了复杂的化学物理过程模型构建；本发明使用虚拟量测构建的模型进行机台健康状况的预测，避免了传统机台维护更换耗材的规则所带来的质量与成本

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117620880A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311590894.XG06F18/213(2023.01)

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