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一种多个入口特斯拉阀流道中心出流的微型压电泵.pdfVIP

一种多个入口特斯拉阀流道中心出流的微型压电泵.pdf

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    本发明公开了一种多个入口特斯拉阀流道中心出流的微型压电泵，它包括：上泵体、下泵体、出口导流组件、出口单向阀和压电振子，其中压电振子是由压电陶瓷和柔性基板通过环氧树脂胶粘接组成。且特斯拉阀流道与出口相切，微型压电泵通过四条树枝形特斯拉阀分叉流道来泵入流体，通过施加电场使压电材料振动，进而驱动流体在分叉流道中流动。这种微型压电泵不仅能够实现高效的流体泵送，还能够实现较高的泵送压力和流量调节能力。整体零件数量少，厚度小且装配简单。各个零件分体制作，易于加工成型，装配时可以采用贴合封装，有利于过程管控；

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117627900A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311458182.2

    (22)申请日2023.11.05

    (71)申请人吉林大学

    地址130025

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