基于沟槽型功率器件的三层掩膜板工艺设计.pptxVIP

汇报人：基于沟槽型功率器件的三层掩膜板工艺设计NEWPRODUCT

CONTENTS目录01添加目录标题02沟槽型功率器件介绍03三层掩膜板工艺设计概述04沟槽型功率器件与三层掩膜板工艺设计的结合05工艺设计中的关键技术06实验验证与结果分析

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沟槽型功率器件介绍PART02

沟槽型功率器件的工作原理沟槽型功率器件的结构：包括源区、漏区、栅区和沟槽等部分沟槽型功率器件的优点：高功率密度、低导通损耗、高可靠性等沟槽的作用：增加器件的导通电阻，降低器件的导通损耗工作原理：通过控制栅极电压来调节源区和漏区的电流

沟槽型功率器件的优势提高可靠性：沟槽结构可以降低器件的应力