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一种基于行星轮系自转与公转相耦合的旋转阴极超精密晶圆级电铸机.pdfVIP

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  • 2024-03-06 发布于四川
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一种基于行星轮系自转与公转相耦合的旋转阴极超精密晶圆级电铸机.pdf

    本发明公开了一种基于行星轮系自转与公转相耦合的旋转阴极超精密晶圆级电铸机，包括电铸机壳体、电源存放区、PLC电气控制触摸屏、电源，电铸机阴极工作区域内设有行星轮系传动机构及液压升降杆，传动机构下方连接阴极夹具，阴极工作区域内设有电铸槽，电铸槽侧面上方设有溢流槽，阴极工作区域下方设有储液槽，储液槽内有传感器，循环过滤泵连接储液槽，储液槽连接有外置储水槽、外置储液槽及外置储液槽，外置储水槽、外置储液槽及外置储液槽分别配有补水泵、一号补液泵及二号补液泵，电铸机下方设有滚轮，工作区域及储液区域分别设有推

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117646257A

    (43)申请公布日2024.03.05

    (21)申请号202311529532.X

    (22)申请日2023.11.16

    (71)申请人北京工业大学

    地址100024

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