成像场曲补偿组件、光学系统及光刻机.pdfVIP

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2024-03-09 发布于四川
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本发明提供了一种成像场曲补偿组件、光学系统及光刻机，所述成像场曲补偿组件包括补偿模块和成像模块，所述补偿模块包括球头补偿座，所述球头补偿座用于控制所述成像模块通过绕x轴转动、绕y轴转动或绕z轴转动进行补偿。本发明采用球头补偿座调整补偿场曲，可避免光学元件改动，有利于提升成像模块的成像质量。另外，球头补偿座采用凸球头结构，补偿过程中避免引入其他自由度串扰影响，可降低补偿调整场区的复杂性，提高补偿的效率与工艺性。本发明可实现实时在线补偿方向并锁定位置，保证模块化设计，提高补偿方向适用性。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117666290A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202211060597.X

(22)申请日2022.08.31

(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公

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