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本发明中的扫描装置具备：MEMS镜机构(3)，其以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动，且以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动；及控制部(5)，其产生用于以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动的第1驱动信号(S1)、及用于以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动的第2驱动信号(S2)。控制部(5)通过以与第1驱动信号(S1)中的1个周期以下的期间的第1信号要素对应的方式，重复产生构成第2驱动信号(S2)的第2信号要素，而以第1方向上的照射区域的m次(m：2以上的整数)往返及第2方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114994906A
(43)申请公布日2022.09.02
(21)申请号202210741004.XH04N9/31(2006.01)
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