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- 2024-03-09 发布于四川
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本公开提供了一种蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法，属于蒸镀技术领域。该蒸镀掩膜板包括掩膜板本体，以及贯穿掩膜板本体的多个蒸镀通孔。其中，多个蒸镀通孔与待蒸镀基板具有的间隔排布的多个子像素区一一对应，以供蒸镀源在多个子像素区蒸镀形成不同颜色的多个子像素。因每个蒸镀通孔靠近待蒸镀基板一侧的开口的孔径小于远离待蒸镀基板一侧的开口的孔径，且能够延伸至所形成子像素颜色不同且相邻的至少一个子像素区，故可以通过灵活设置蒸镀通孔的通孔夹角，并配合调整蒸镀源的蒸镀角，使得多个蒸镀源向待蒸镀基板上可靠蒸镀不同材料，且
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660888A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211043493.8
(22)申请日2022.08.29
(71)申请人京东方科技集团股份有限公司
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