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用于处理基板的设备及处理基板的方法.pdfVIP

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  • 2024-03-09 发布于四川
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用于处理基板的设备及处理基板的方法.pdf

    本发明提供一种基板处理方法。前述基板处理方法包括将基板取至处理空间，以将基板安装在支撑单元上；在将基板安装在支撑单元上之后，向上移动支撑单元；在向上移动支撑单元之后，判定支撑单元是否正常移动；以及通过在处理空间中产生等离子体以处理基板，且其中，在于处理空间产生等离子体以处理基板之前，判定支撑单元是否正常移动，判定与根据驱动单元的脉冲值预定的距离数据匹配的脉冲距离是否匹配于移动体的移动距离，驱动单元以脉冲移动在上/下方向移动支撑单元的移动体，且若脉冲距离与移动距离不同，则产生内锁。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117672799A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202311156871.8

    (22)申请日2023.09.08

    (30)优先权数据

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