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MEMS电容式加速度计及其制备方法.pdfVIP

MEMS电容式加速度计及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种MEMS电容式加速度计及其制备方法，包括基底、质量块、悬臂梁、第一电极层和第二电极层；所述质量块设置于所述基底的上方，且所述质量块与所述基底之间形成预设距离；所述悬臂梁倾斜设置；所述悬臂梁的第一端与所述基底固定连接，所述悬臂梁的第二端与所述质量块固定连接，且所述悬臂梁与所述基底之间形成预设夹角；所述基底朝向所述质量块的一侧设置有第一电极层，所述质量块朝向所述基底的一侧设置有与第一电极层相对应的第二电极层。本发明的一个技术效果在于，结构设计合理，有助于实现MEMS电容式加速度计的微型

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115389782A

    (43)申请公布日2022.11.25

    (21)申请号202211031283.7

    (22)申请日2022.08.26

    (71)申请人南京高华科技股份有限公司

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