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本发明涉及镀膜设备技术领域,公开了一种蒸发装置和真空镀膜设备,其中一种蒸发装置包括加热源、蒸发槽和隔热结构。其中,加热源设于蒸发槽内并与蒸发槽的槽口相对;隔热结构包括设于加热源朝向蒸发槽的槽口侧的冷却遮板,冷却遮板上设有介质流道,供冷却介质从一端进入并从另一端流出,另外,一种真空镀膜设备还包括成对设置与蒸发槽口的镀膜辊,成对设置的镀膜辊均偏心设置于蒸发槽的槽口,膜材依次绕过两镀膜辊,极大的提升了镀膜材料蒸汽与膜材的接触面积,本发明解决了被加工工件受到加热源热辐射导致温度急剧升高,影响产品质量的问
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660896A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311615912.5C23C14/56(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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