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本实用新型公开了一种阵列激光加工装置,包括发射模块、光束调整模块、光学模块以及聚焦模块。发射模块用于提供脉冲激光光束。光束调整模块被配置以用于接收脉冲激光光束且将其转换成调制激光光束。光学模块被配置以用于接收调制激光光束且将其转换成阵列型激光光束,其中,阵列型激光光束由多个激光光束以特定阵列形状排列而形成。聚焦模块被配置以用于接收阵列型激光光束,并用于将阵列型激光光束聚焦且投射至待钻工件,以使聚焦后的阵列型激光光束于待钻工件上形成多个孔洞。由此,本实用新型的阵列激光加工装置可提升激光加工的效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220560662U
(45)授权公告日2024.03.08
(21)申请号202322052244.1
(22)申请日2023.08.01
(73)专利权人聚嵘科技股份有限公司
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