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一种测量系统包括具有接触待测量工件的接触部分的测量探头。该测量探头在移动模式的至少一部分期间以第一更新速率操作，其中移动模式包括测量探头的使得接触部分远离工件移动和/或在距工件等于或大于阈值距离的距离处移动的移动。该测量探头在测量模式的至少一部分期间以第二更新速率(即，比该第一更新速率快)操作，其中该测量模式包括测量探头的使得接触部分朝向工件移动以获得测量结果的移动。在各种实施方式中，对第一更新速率和第二更新速率的组合使用有效地减少了测量探头的通电漂移。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117663966A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311135951.5
(22)申请日2023.09.05
(30)优先权数据
17/939,7102022
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