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本发明涉及一种催化反应精馏制备电子级硅烷的装置及方法，以氯硅烷作为原料，经过吸附器（1）除杂后进入硅烷反应精馏塔（2），塔顶粗硅烷进入一级深冷器（3）和二级深冷器（4）粗分离，粗硅烷进入硅烷分离塔（4）侧线采出电子级硅烷。吸附器（1）中装填吸附剂控制氯硅烷原料中的硼、磷、总金属、氯化氢杂质的含量；硅烷反应精馏塔（2）设有多个进料口，优化了物料在反应段的浓度分布，有利于歧化反应的进行；硅烷分离塔（4）采用中上部液相侧采的出料方式并且与接触物料部分做抛光处理，可直接得到电子级产品。本发明具有催化精馏
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117654087A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311676502.1B01J8/02(2006.01)
(22)申请日2023.12.0
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