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本发明涉及用于将部件安装在基板上的设备和方法。设备包括:结合头,具有部件夹持器;第一驱动系统,用于使托架移动经过相对长的距离;第二驱动系统,被附接到托架,用于使结合头在名义工作位置和待机位置之间来回移动;驱动件或旋转驱动件,驱动件被附接到结合头用于使部件夹持器旋转,旋转驱动件用于使基板绕轴线旋转;至少一个基板相机;和至少一个部件相机。第二驱动系统也被设计成用结合头执行高精度校正移动,或者第三驱动系统被设置成用基板执行高精度校正移动。至少一个基准标记被附接到结合头或部件夹持器。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117672911A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311517499.9(51)Int.Cl.
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