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本公开的示例实施例涉及用于模型校准的方法、电子设备及存储介质。该方法包括：对输入到模型中的第一精度格式的掩模版图进行归一化处理，以获得归一化版图图像，其中模型具有初始化的模型参数；对归一化版图图像应用第二精度格式的仿真处理，以获得仿真晶圆图像，其中第二精度格式的精度低于第一精度格式的精度；使用第一精度格式确定指示仿真晶圆图像与目标图像之间的差异的度量指标；对模型参数进行迭代更新；以及响应于度量指标满足预定标准，将对应于满足预定标准的度量指标的模型确定为最优模型。本公开的实施例能够提高模型校准过程
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117669473A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202410118929.8
(22)申请日2024.01.29
(71)申请人全智芯（上海）技术有限公司
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