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本发明涉及一种Zn基有机配位纳米颗粒、光刻胶组合物及其制备方法与应用，该纳米颗粒为金属有机一维重复排列链状结构，结构通式为[ZnX2(CH3COO)Y]n，其中，X选自苯甲酸根或间甲基苯甲酸根，Y选自有机胺类配体，n为聚合度，n大于等于1。以该Zn基有机配位纳米颗粒可以组成光刻胶组合物，并用于中紫外、电子束、极紫外光刻，获得高质量的曝光图案，因此，本发明的Zn基有机配位纳米颗粒具有显著的应用潜力和价值。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117659420A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211050526.1
(22)申请日2022.08.29
(71)申请人清华大学
地址100084
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