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2023年半导体用石英玻璃材料项目规划设计方案.docx

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    半导体用石英玻璃材料项目规划设计方案

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    半导体用石英玻璃材料项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z21852序言 3

    17649一、半导体用石英玻璃材料项目文档管理 3

    15028(一)、文档编制与审查 3

    20441(二)、文档发布与分发 4

    8524(三)、文档存档与归档 5

    23998二、半导体用石英玻璃材料项目绩效评估 6

    11194(一)、绩效评估指标 6

    14013(二)、绩效评估方法 8

    31230(三)、绩效评估周期 9

    31180三、工艺说明 10

    31331(一)、技术管理特点 10

    8

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