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基于MEMS压力传感器芯片贴装用压力监测校准治具.pdfVIP

基于MEMS压力传感器芯片贴装用压力监测校准治具.pdf

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    本发明公开了基于MEMS压力传感器芯片贴装用压力监测校准治具，涉及压力校准领域，针对MEMS压力传感器的校准这一过程，提出了动态多级施压的方案，采用先注气增压后分级曝气的方式，其本质是：在完成增压阶段时，其注气管内部的积压总值处于相对定值，单级释放这一过程中，存在瞬间释放和平稳释放两种状态下的显示数值，以此方式为基础，结合到动态多级施压的施压方式，集合多个显示数值并进行误差率计算得到误差率，最终对受检本体上中第一级数中的显示数值进行二次优化后得到补偿因子，其目的是：以动态施压的方式，可以同步对多

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117664440A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202410126648.7

    (22)申请日2024.01.30

    (71)申请人无锡芯感智半导体有限公司

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