直拉单晶炉设备简介、结构课件.pptxVIP

;第二章直拉单晶炉;为了提高生产效率，降低成本，也为了保证器件参数的一致性、可靠性，都希望直拉单晶大直径化，设备控制高度自动化。目前世界上已制造出了装料量达400kg以上，单晶直径达300mm以上，从抽空到拉晶结束全部自动化控制，且稳定性、可靠性极好的大型直拉单晶设备。为了提高单晶的内在质量或者某方面参数的特殊要求，也出现了磁场法直拉单晶炉和具有两个主炉室的连续加料直拉单晶炉等。;直拉单晶炉的改良;3.为了确保真空度和转动的稳定性，大都在上、下轴的旋转部分安装磁流体密封。

4.为了加大了投料量，在电源、水冷及炉压监控上，采用了多种安全保障措施和安全装置，电气上做到了全程自动控制和数据交换，温度自控、等径自控和安全报警等。;国内最早生产直拉单晶炉的专业厂家是西安理工大学工厂，该厂技术力量雄厚，机加工能力很强，从事直拉单晶炉主要有TDR-70、TDR-80、TDR-90、TDR-120等多种炉型。其中，TDR-120炉是2007年面世的，设计装料量120kg，实现了全过程自动控制，设计上有较大的改进。;1961年，在中国科学院半导体物理所林兰英院士的亲自指导下，北京机械学院工厂（西安理工大学工厂的前身）的技术人员与半导体物理所的技术人员共同研制出了我国第一台人工晶体生长设备，TDK-36型单晶炉，并且成功拉制出了我国第一