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2023年微波集成电路AL2O3基片项目计划设计方案.docx

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    微波集成电路AL2O3基片项目计划设计方案

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    微波集成电路AL2O3基片项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z32612前言 3

    24968一、产品规划分析 3

    19011(一)、产品规划 3

    20744(二)、建设规模 4

    28298二、工艺说明 5

    25219(一)、技术管理特点 5

    15175(二)、微波集成电路AL2O3基片项目工艺技术设计方案 6

    1123(三)、设备选型方案 8

    6792三、微波集成电路AL2O3基片项目概论 9

    156(一)、微波集成电路AL2O3基片项目概况 9

    7694(二)、

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