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多晶硅分类
按纯度分为冶金级〔工业硅〕、太阳能级、电子级。
冶金级硅〔MG〕：是硅的氧化物在电弧炉中被碳复原而成,一般含Si为90-
95%以上。
太阳能级硅(SOG)：纯度介于冶金级硅与电子级硅之间，至今未有明确界定。一般认为含Si在99.99%–99.9999%〔4～6个9〕。
电子级硅〔EG〕：一般要求含Si99.9999%以上，超高纯到达99.9999999%～99.999999999%〔9～11个9〕。
多晶硅的生产方法
改进西门子法、硅烷法和流化床法。
改进西门子法——闭环式SiHCl
3
氢复原法的生产流程与工艺
改进西门子法是在西
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