多晶硅生产工艺—西门子法.docx

西门子法生产多晶硅进展及展望

西门子法生产多晶硅的工艺流程可分为三步：一是SiHCl3制备，二是SiHCl3复原制取多晶硅，最终为尾气的回收利用。从图1、图2可见，左边的流床反响器即为由冶金级硅和HCl气体反响生成SiHCl3的局部；中间标有“高纯Si”的

反响炉为制取多晶硅的局部；右边为尾气回收系统。其中，SiHCl3氢复原制取多

晶硅局部最为重要。

西门子法至今已有50多年的历史，多年前即进展成为生产电子级多晶硅的主流技术，现在生产技术已相当成熟。这和它具有以下优点是密不行分的[20-22]：

(1)SiHCl3比较安全，可以安全地运输，贮存数月仍能保持电