多晶硅工艺概述.docx

1、

氢气制备与净化工序

在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷却、分别液体后，进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧气与氢气反响生成水而被除去。除氧后的氢气通过一组吸附枯燥器而被枯燥。净化枯燥后的氢气送入氢气贮罐，然后送往氯化氢合成、三氯氢硅氢复原、四氯化硅氢化工序。

电解制得的氧气经冷却、分别液体后，送入氧气贮罐。出氧气贮罐的氧气送去装瓶。

气液分别器排放废吸附剂、氢气脱氧器有废脱氧催化剂排放、枯燥器有废吸附剂排放，均供货商回收再利用。

2、氯化氢合成工序

从氢气制备与净化工序来的氢气和从合成气干法分别工序返回的循环氢气分别进入本工序氢气缓冲罐并在罐内混合。出