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2023年光刻胶专用化学品项目计划设计方案.docx

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    光刻胶专用化学品项目计划设计方案

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    光刻胶专用化学品项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z27404前言 3

    28500一、光刻胶专用化学品项目土建工程 3

    29422(一)、建筑工程设计原则 3

    5049(二)、土建工程设计年限及安全等级 4

    22464(三)、建筑工程设计总体要求 5

    23783(四)、土建工程建设指标 6

    19564二、工艺说明 6

    26848(一)、技术管理特点 6

    23208(二)、光刻胶专用化学品项目工艺技术设计方案 7

    22360(三)、设备选型方案 9

    13540三、光刻胶专用化

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