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一种薄膜体声波谐振器及其制造方法及滤波器、电子设备.pdfVIP

一种薄膜体声波谐振器及其制造方法及滤波器、电子设备.pdf

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    本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法及滤波器、电子设备，其中所述制造方法包括：形成电极层，刻蚀所述电极层，所述刻蚀电极层的步骤包括：在所述电极层上形成光阻挡层,所述光阻挡层能够阻止光线的通过，并能作为图形化所述电极层的掩膜层；在所述光阻挡层上形成光敏材料层；以所述光敏材料层作为掩膜，刻蚀所述光阻挡层，使所述光阻挡层形成的图案与预形成在所述电极层上的图案相同；以所述光阻挡层作为掩膜，刻蚀所述电极层，在所述电极层中形成作为有效谐振区边界的至少两个侧面，相邻两侧面围成有一夹角，所述夹角的圆弧半

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN112039476A

    (43)申请公布日

    2020.12.04

    (21)申请号20201

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