原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，包括能够在固定板上滑动的滑动定位板以及相对固定的定位角块；滑动定位板和定位角块分别设置有呈L形的第一直角缺口和第二直角缺口，两个直接缺口的各边沿正方形的四边设置，且两个直接缺口的转角位于正方形的对角处，且在转角处设置有朝向掩膜版表面的抽气孔，两个直角缺口的内壁分别凸设若干个承载定位部，导向驱动组件驱动滑动定位板沿正方形的对角线方向移动，承载定位部抵接定位其上放置的掩膜版，定位后，掩膜版的对角两端被抽气孔吸附固定。该自动定位固定机构能够方便地定位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115194679A
(43)申请公布日2022.10.18
(21)申请号202211035069.9
(22)申请日2022.08.26
(71)申请人魅杰光电科技（上海）有限公司
地址
文档评论（0）