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本发明涉及一种以C膜为电致变色前后电极的复合薄膜及其制备方法，包括衬底的选择、氧化钨薄膜的制备、钽酸锂薄膜的制备、氧化镍薄膜的制备、二氧化硅薄膜的制备，其特征在于：采用磁控溅射法分别在衬底和氧化钨薄膜之间镀制一层C膜一，在二氧化硅薄膜上镀制一层C膜二；其中C膜一和C膜二的电阻均在10‑20Ω之间，透过率均大于90%。本发明的优点：通过C膜对前后电极的替换，使工艺简单化，膜层质量可控；C膜的各项性能稳定可控，较易实现各种不同膜层的需要；前后电极均使用C膜，使得C膜与衬底材料的结合力大大提高，且可根
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117687251A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311573696.2C23C14/02(2006.01)
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