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2024-03-13 发布于四川
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一种高纯石英玻璃的制备方法.pdf

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本发明涉及一种高纯石英玻璃的制备方法，其特征在于：（1）选择反应源为四氯化硅和氧气，等离子气源为氩气或氩气与空气混合气，氩气流量为1.5～150g/min，氧气流量为1.0～30g/min，控制进气管路温度在60℃～90℃；（2）等离子气源经过等离子体发生器后产生等离子焰，加热基底，同时反应气体从对称方向以相同流速0.5～10m/s及0～180°的夹角同时喷入等离子焰，在高温1300～2000℃下发生反应生成氧化硅颗粒，形成的氧化硅颗粒于基底熔融沉积，形成高纯石英玻璃。本发明优点：通过管道加热，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117682751A

(43)申请公布日2024.03.12

(21)申请号202311573698.1

(22)申请日2023.11.23

(71)申请人中建材玻璃新材料研究院集团有限

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