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本发明提供了一种具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料及其制备方法。所述具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料的制备方法为：采用脉冲激光沉积法，包括：选择可使薄膜产生张应力并有良好晶格匹配关系的单晶衬底，在0.1mbar～0.2mbar沉积氧压下利用脉冲激光轰击烧蚀Bi过量的CBN靶材进行沉积，并在一定氧压下直接降温冷却，获得具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料；其中，单晶衬底为铌掺杂钛酸锶或钛酸锶单晶衬底；激光脉冲次数5000～15000次。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115505880A
(43)申请公布日2022.12.23
(21)申请号202211191375.1
(22)申请日2022.09.28
(71)申请人中国科学院上海硅酸盐研究所
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